基本信息
| 标准名称： | 半导体器件外延炉 能耗标准 |
| 中标分类： | 机械 >> 机械综合 >> 技术管理 |
| 发布部门： | 机械电子工业部 |
| 发布日期： | 1991-08-27 |
| 实施日期： | 1992-07-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 提出单位： | 机械电子工业部生产司 |
| 归口单位： | 机械电子工业部机械标准化研究所 |
| 起草单位： | 国营北京七七四厂 |
| 起草人： | 赵伟、郭瑞春 |
| 出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版日期： | 1992-07-01 |
| 页数： | 4页 |
适用范围
本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。
本标准适用于电子工业企业外延炉。
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所属分类： 机械 机械综合 技术管理