基本信息
| 标准名称： | 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定 |
| 英文名称： | Test methods of precious metal pastes used for microelectronics - Determination of resolution |
| 中标分类： | 冶金 >> 有色金属及其合金产品 >> 贵金属及其合金 |
| ICS分类： | 冶金 >> 有色金属 >> 其他有色金属及其合金 |
| 替代情况： | 替代GB/T 17473.6-1998 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2008-03-31 |
| 实施日期： | 2008-09-01 |
| 首发日期： | 1998-08-19 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 中国有色金属工业协会 |
| 提出单位： | 中国有色金属工业协会 |
| 归口单位： | 全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 贵研铂业股份有限公司 |
| 起草人： | 刘成、赵汝云、陈伏生、马晓峰、刘继松、朱武勋 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2008-06-01 |
| 页数： | 5页 |
| 计划单号： | 20062657-T-610 |
| 书号： | 155066·1-31525 |
适用范围
本标准代替ＧＢ／Ｔ１７４７３—１９９８ 《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法》（所有部分），本标准分
为７个部分,本部分为ＧＢ／Ｔ１７４７３—２００８的第６部分。 本部分规定了微电子技术用贵金属浆料分辨率的测定方法。
本部分适用于微电子技术用贵金属浆料的分辨率测定。 本部分代替ＧＢ／Ｔ１７４７３．６—１９９８ 《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定》。
本部分与ＧＢ／Ｔ１７４７３．６—１９９８相比，主要有如下变动：
———将原标准名称修改为微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定；
———增加了固化型贵金属浆料分辨率测定的内容；
———原“光刻膜丝网网径２０２５μｍ 不锈钢丝网”改为“光刻膜丝网，丝网孔径不大于５４μｍ”；
———增加６．３将印有固化型的试样按其规定的工艺要求进行静置、烘干、固化，固化后试样膜厚控制在１μｍ～１５μｍ；
———分辨率规格分级重新定义为０．１ｍｍ、０．２ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４ｍｍ、０．５ｍｍ 五个级别。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
下列文件中的条款通过本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本部分。
GB/T8170 数值修约规则
所属分类： 冶金 有色金属及其合金产品 贵金属及其合金 冶金 有色金属 其他有色金属及其合金